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超精轴承用于交通行业、军事行业、建筑机械工业的设备超精轴承用细粒度的磨具(油石)对工件施加很小的压力，并作短行程往复振动和慢速相对进给运动，以实现微量磨削的一种光整加工方法。超精轴承的特点能有效的减小波纹度。在超精研过程中，为了能够保证油石始终作用于波峰而不与波谷接触，油石与工件接触的圆弧≥工件表面波纹度的波长，这样一来，波峰的接触压力较大，凸峰就被切除，从而减少了波纹度。改善球轴承滚道的沟形误差。超精研可以有效的改善30%左右滚道的沟形误差。能使被超精研表面产生压应力。超精研过程中，主要产生冷塑性变形，从而使得超精研后，工件表面形成残余压应力。