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高纯气体在环境监测和污染控制中具有重要意义。一些高纯气体如氧气和氮气被应用于空气和水质污染检测和处理，以改善环境质量。高纯气体在航天航空领域也扮演重要角色。氦气被广泛用于飞船和卫星中的冷却和浮力控制，以确保航天器的安全和性能。高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
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