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车间净化工程亦称为无尘室或清净室。是指将特定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪 音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿 度及压力等性能之特性。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间 我们称之为洁净室。
洁净室管控:
(1)能除去空气中飘游之微尘粒子。
(2)能防止微尘粒子之产生。
(3)温度和湿度之控制。
(4)压力之调节。
(5)有害气体之排除。
(6)结构物与隔间之气密性。
(7)静电之防制。
(8)电磁干扰预防。
(9)安全因素之考虑。
(10)节能之考量。
洁净室构成:
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。
(1)天花板系统:包括吊杆、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄颜色灯管等。
洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,须满足如下之条件:
(1)不会因温度变化与振动而发生裂痕。
(2)不易产生微尘粒子,且很难附着粒子。
(3)吸湿性小。
(4)为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。
进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、高(gao)效三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。由于高(gao)效过滤器可以滤除<1μm(微米)的尘埃粒子,对细菌的穿透率为10-6,所以通过高(gao)效过滤器的空气,可视为无菌。
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