洁净车间度等级-天津洁净车间-洁净车间设计与施工
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洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。
洁净室分类:
按气流的流动状态分
根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 :
(1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器高(gao)效或亚高(gao)效尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。
(2) 单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。
(3) 矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形高(gao)效过滤器,也可以用普通高(gao)效过滤器配扇形送风口,在另一侧的下部设回风口,房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级(100级)洁净度。
洁净室的流型基本上是上述三种类型,但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现高(gao)级别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度,工作台就设在“隧道内”。
按受控粒子的性质划分
(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。
(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。
洁净车间度等级-天津洁净车间-洁净车间设计与施工。
车间净化工程亦称为无尘室或清净室。是指将特定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪 音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿 度及压力等性能之特性。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间 我们称之为洁净室。
洁净室管控:
(1)能除去空气中飘游之微尘粒子。
(2)能防止微尘粒子之产生。
(3)温度和湿度之控制。
(4)压力之调节。
(5)有害气体之排除。
(6)结构物与隔间之气密性。
(7)静电之防制。
(8)电磁干扰预防。
(9)安全因素之考虑。
(10)节能之考量。
洁净室构成:
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。
(1)天花板系统:包括吊杆、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄颜色灯管等。
洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,须满足如下之条件:
(1)不会因温度变化与振动而发生裂痕。
(2)不易产生微尘粒子,且很难附着粒子。
(3)吸湿性小。
(4)为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。
进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、高(gao)效三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。由于高(gao)效过滤器可以滤除<1μm(微米)的尘埃粒子,对细菌的穿透率为10-6,所以通过高(gao)效过滤器的空气,可视为无菌。
洁净室的发展与现代工业、新技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
洁净室分类:
按气流的流动状态分
根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 :
(1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器高(gao)效或亚高(gao)效尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。
(2) 单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。
(3) 矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形高(gao)效过滤器,也可以用普通高(gao)效过滤器配扇形送风口,在另一侧的下部设回风口,房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级(100级)洁净度。
洁净室的流型基本上是上述三种类型,但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现高(gao)级别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度,工作台就设在“隧道内”。
按受控粒子的性质划分
(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。
(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。
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